<熱CVDの知識>
2007/10/03 日記<熱CVD>
熱CVD
熱CVD(ねつシーブイディー)は、熱反応下において原料ガスと酸化剤または還元剤を混合し、希望する材料を生成する方法。原料比と反応温度、反応容器設計により反応が決定される。CVDはChemical Vapor Depositionすなわち化学気相成長(化学蒸着)であり、原料は気体・蒸気が用いられる。カーボンナノチューブの生成に、熱CVD法を用いる装置も存在する。
関連項目
蒸着
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