＜ベーキングの知識＞
2007/09/11 日記<ベーキング>
ベーキング
ベーキングとは、本来オーブンで調理することを言う。転じて、加熱処理のことを指す。
半導体素子の製造工程
真空装置のチャンバー内壁には、様々な不純物が吸着する。それらは高真空を得る際の妨げとなるため、チャンバー外壁にテープ状またはワイヤ状のヒータを巻いて、チャンバー全体を熱することをベーキングと言う。真空ポンプで引きながらベーキングを行うことにより、チャンバー内の残留不純物（特にチャンバーオープン後は水が多い）を取り除くことができる。半導体製造装置の写真を見ると、大抵は銀紙でぐるぐる巻きにしてあるが、それはベーキングの際に熱にムラが出来ないように巻いてあるものである。
人工衛星や惑星探査機
人工衛星や惑星探査機などの宇宙空間で活動する機械類は、ほおっておくと太陽輻射による高温か放射による冷却で低温になってしまう。
内蔵している各種機器には動作する範囲の温度があり、その状態を保つための機構を持つ。高温の状態は、ラジエター|放熱板（ラジエター）による冷却で対処する。
対して低温の状態は供えている加熱機構によって加熱処理を行う。
この加熱処理をベーキングと呼ぶ。
関連項目
comment(" >0) trackback(" >0)
|
◆ベーキングについてピックアップ 真空装置のチャンバー内壁には、様々な不純物が吸着する。それらは高真空を得る際の妨げとなるため、チャンバー外壁にテープ状またはワイヤ状のヒータを巻いて、チャンバー全体を熱することをベーキングと言う。真空ポンプで引きながらベーキングを行うことにより、チャンバー内の残留不純物（特にチャンバーオープン後は水が多い）を取り除くことができる。半導体製造装置の写真を見ると... |