＜プローブカードの知識＞
2007/09/14 日記<プローブカード>
プローブカード
プローブカード (probe card) とは、集積回路の製造工程で、ウェハー|ウェハ上に回路の形成が完成した段階で、ウェハを個々のチップに切り離す前に行うテスト（ウェハテスト）で用いる治具である。探針付き基板と訳されることもある。
概要
ウェハテストでは、チップをテスト装置（プローバー）に接続し、チップ上の端子（電極パッド、ボンディングパッド）にテストパターンに従って電圧をかけ、出力を測定して期待値と比較することでチップの良否を判定する。その際、チップ上の端子にプローブ(探針)と呼ばれる針を正確にあてることが必要である。端子のサイズや間隔は数十〜百マイクロメートル、1チップあたり数個〜数百個程の端子がある。テスト時間を短縮するために同時に複数個のチップをテストするには、さらに多くの針が必要である。これらの針を素早く正確にチップにあてるために、必要な針をチップ上の端子パターンにあわせて配置しセットにして扱い易くしたものがプローブカードである。集積回路の微細化と共に、端子のサイズや間隔は縮小（2000年代で最小30〜50μm）、端子数は増加する傾向があり、初期のプローブカードの針は、数個〜百個程度であったが、2000年頃には〜千個、多いものでは5000個以上の針を扱える。プローブカードは、米Rucker&Kolls社による発明とされ、1970年には既に製造・販売されていた。プローブカードのメーカには他に、
などがある。
機構
カードの形状は、多くは円形(長方形など他の形もある)で、カードの周辺部にテスト装置との接続端子、中央にチップに接続する針が取り付けられている。針は、周りから中心部に向けて水平（斜め下）に取り付けるカンチレバー型（または水平型）と呼ばれる構造と、上から下に垂直に針を取り付ける垂直型（またはスプリング型、針の中央がバネになっていて接触時の圧力を生む）といわれる構造の2つがある。垂直型はカンチレバー型より針のレイアウトの自由度が高く、針の配置を列ではなくてアレイ状にできるメリットがある。プローブカードは、プローバー（あるいはプローブテスタ）と呼ばれるテスト装置に取り付けて使う。量産ライン用のプローバーには、プローブカードの下にウェハを移動、位置補正、プローブカードを順番にチップに押し当ててテスト、そしてウェハの排出までを全自動で行えるものもある。
材質
標準
性能
関連項目
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◆プローブカードについてピックアップ ウェハテストでは、チップをテスト装置（プローバー）に接続し、チップ上の端子（電極パッド、ボンディングパッド）にテストパターンに従って電圧をかけ、出力を測定して期待値と比較することでチップの良否を判定する。その際、チップ上の端子にプローブ(探針)と呼ばれる針を正確にあてることが必要である。端子のサイズや間隔は数十〜百マイクロメートル、1チップあたり数個〜数百個... |
