＜ドライエッチングの知識＞
2007/10/07 日記<ドライエッチング>
ドライエッチング
ドライエッチング(Dry Etching)は、反応性の気体(エッチングガス)やイオン、ラジカルによって材料をエッチングする方法である。
主に化学的な反応によるエッチングを指し、反応による生成物は気体である場合が多い。これに対して液体によるエッチングをウエットエッチングと呼ぶ。また、イオンミリングなどのようにイオンを衝突させてエッチングする方法など化学的な反応を伴わないものは物理エッチングと呼ぶ場合もある。実際には化学的な反応と物理的なものが同時に起こっている。特徴としては* 後工程として洗浄を必要としない。
ドライエッチングの種類
おもなエッチングガス
反応性イオンエッチングに使われるもの
反応性ガスエッチングに使われるもの
関連項目
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◆ドライエッチングについてピックアップ 主に化学的な反応によるエッチングを指し、反応による生成物は気体である場合が多い。これに対して液体によるエッチングをウエットエッチングと呼ぶ。また、イオンミリングなどのようにイオンを衝突させてエッチングする方法など化学的な反応を伴わないものは物理エッチングと呼ぶ場合もある。実際には化学的な反応と物理的なものが同時に起こっている。特徴としては* 後工程として洗浄... |
