＜ステッパーの知識＞
2007/10/27 日記<ステッパー>
ステッパー
ステッパー（英:''Stepper''）とは、半導体素子製造装置の一つで、縮小投影型露光装置のことである。シリコンなどのウェハーに回路を焼き付ける為、ウェハー上にレジストを塗布し、レチクルのパターンを投影レンズにより1/4〜1/5に縮小して、ウェハー上を移動(ステップ)しながら投影露光する。1つの露光エリアを露光する際にレチクルとウェハと固定して露光する装置と、レチクルとウェハーを同時に動かして露光する装置とがある。前者を「アライナー」、後者を「スキャナー」と呼ぶことが多い。後者のタイプは特性の良いレンズ中心部分を使用して露光することができるので微細化に向いているが、レチクルとウェハーを精密に同期させて露光する必要がある為に構造が複雑となり、装置の価格も高価である。ステッパーは半導体製造装置の中でも最も高価な装置であり、最新の装置価格は数十億円の規模である。また、近年の微細化に対応する為に投影レンズとウェハーの間の空間を液体で満たす液浸という方式も実用化されている。現在使用されている液体は純水である。なお、液浸方式に置いては水のレジストへの影響を避けるためにトップコートと呼ばれる保護膜を塗布することが一般的である。トップコートの撥水性能が低いとステッパーの生産性を制約してしまうことから、薬液メーカによる撥水性能の開発競争が加速している。
主なメーカー
関連項目
Stepper Motor Tutorial and Controllers
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