＜アモルファスシリコンの知識＞
2007/09/05 日記<アモルファスシリコン>
アモルファスシリコン
アモルファスシリコン (英語|英：amorphous silicon) とは、ケイ素を主体とする非晶質半導体である。結晶シリコンと比較してエネルギーギャップが大きく、光吸収係数が高い、製膜が容易などの特徴を持ち、薄膜トランジスタや太陽電池などに応用される。
概要
アモルファスシリコンは、1975年にスピア (W.E.Spear) らがシラン (化合物)|シランの熱分解によって得たのが最初である。本来ダイヤモンド構造を有する結晶シリコンの構造がランダムになり、シリコン原子同士が無秩序に結合したものである。熱力学的に結晶シリコンに比べて不安定な物質であるが、
未結合手（ダングリングボンド）に水素を結合させる（水素化する）ことで安定な固体となり、実用に供される。このため水素化アモルファスシリコンとも呼ばれ、しばしば a-Si:H のように表記される。アモルファスシリコンは製法や組成によって電気的・光学的に大きく性質を変化させることが可能である。また結晶シリコンに比して製膜条件が緩く、非結晶性の材料や高温に耐えない材料の上にも製膜しやすい利点を持つ。結晶シリコンに比較して、アモルファスシリコンは下記のような違いがある。
応用
液晶パネルの薄膜トランジスタなど、ガラスやプラスチック上への半導体素子の形成などに広く応用されている。
関連項目
参考書籍
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